Silicon Nitride 코히어런트 광소자 기술

기술개요

• 코히어런트 광통신용 소자 기술로서, 실리콘 기판 위에 SiN 도파로를 형성하여 코히어런트 광신호 복원하기 위하여 위상의 직교 성분을 추출하는 광하이브리드 공진 파장을 생성하는 링 공진기를 설계·제작하는 기술임

기술개발 목적 및 필요성

• • 국내의 실리카 기반 광소자를 개발·생산하는 기업에 최근 광통신·광센서 소자에 제기되는 소형화 및 직접화 이슈를 극복하기 위하여 SiN 도파로 기반 광소자 기술

기술특성

• • 대면적 실리콘 기판을 사용하고 간단한 삭각 공정으로 대량생산이 가능한 SiN 기바의 PLC 기술로서, 평판형 소형 집적화 기술을 사용하여 광하이브리드와 링 공진기의 소형화, 저가화 구현

  
  

  • 기존 실리카 기반 평판형 광소자와 비교하여 1/2 이하의 크기로 소형화할 수 있어, 최근 이슈인 광트랜시버의 대용량화 및 소형화에 대응

  
  

  • SIN 기반 도파로 기술을 이용하여 위상 변조된 광신호 직교 성분을 분리하는 기능 광하이브리드 소자 기술

  
  

  • SiN  도파로 기반의 간단한 링 구조를 이용하여 다양한 광센서나 파장 가변 광원의 파장 선택 소자에 응용하기 위한 공진 파장 생성

  
  

  • SiN 기반 광소자 기술은 다른 반도체 광소자와 이종결합이 가능하여 다양한 광직접회로 고부가가치 제품에 특히 적합한 기술로서, SiN 기반 광하이브리드 InP 광검출기를 집적한 코히어런트 광수신기, SiN 기반 링 공진기와 InP 레이저를 집적한 파장 가변 광원 등 이종집적 플랫폼 기술

  
  

  • 자이로스코프, phased array 안테나 등에 요구되는 저손실 SiN 도파로 기술 및 SiN 도파로 어레이 기술

  
  

  • COMS 공정에서 사용하는 기술을 적용하므로 실리콘 포토닉스 기술에 적합하고 시릴카 및 실리콘 기반의 광소자에서의 크기, 민감성 등의 분제 개선 기슬